Beschreibung
Die Plattform integriert einen Temperatursensor (PT1000) , ein Heizelement und ineinandergreifende Elektrodenstrukturen (IDES) in Platin-Dünnfilm auf einem Keramiksubstrat. Heizung und Sensor sind mit einer Isolationsglasschicht bedeckt. Typische Anwendungsbereiche sind Gassensoren und physikalischen Sensoren.